Введение: Невидимая угроза

В условиях чистых помещений — таких как фабрики по производству полупроводников или сборочные цеха спутников — даже одна пылинка или микроскопическая капля масла могут испортить многомиллионную кремниевую пластину. Стандартные линейные компоненты по своей природе «грязные»; они осыпаются частицами при трении и выделяют газы из смазочных материалов.

Для работы в таких условиях, TOCO компоненты должны соответствовать определенным требованиям. ISO-14644 1 классы, где цель состоит в минимизации как того, так и другого. генерация частиц и газовыделение.

1. Понимание процесса дегазации (TML и CVCM)

В вакууме или чистом помещении с высокой температурой обычные смазки «кипятят» на молекулярном уровне. Этот процесс называется дегазацией. Затем эти пары конденсируются на чувствительных линзах или датчиках, вызывая их запотевание.

• Решение: TOCO использует специализированные фторированные смазочные материалы (PFPE)Эти вещества обладают чрезвычайно низким давлением пара, что гарантирует их сохранение в жидком состоянии даже в вакууме.

• Совместимость с вакуумом: Для применения в космической отрасли мы гарантируем, что материалы соответствуют требованиям к низкой общей потере массы (TML).

2. Контроль за содержанием твердых частиц: рейтинг ISO

При каждом движении вагонетки трение между шариками и рельсом приводит к образованию мельчайших металлических или пластиковых частиц.

• Класс ISO 5 и выше: Требуется использование малопылезащитных шариковых цепей (как видно из Линейное перемещение в медицинской и лабораторной автоматизации) для предотвращения трения мяча о мяч.

• Только нержавеющая сталь: Для предотвращения образования частиц окисления (ржавчины) все конструктивные элементы изготовлены из нержавеющей стали SUS440C или аналогичных сплавов.

• Всасывающие прокладки: В современных модулях для чистых помещений TOCO часто имеется вакуумный патрубок, который «откачивает» воздух изнутри сильфона, улавливая частицы до того, как они смогут попасть в помещение.

3. Обработка поверхности: правило «никакого отслаивания».

Стандартные покрытия, такие как черное оксидное покрытие, со временем могут отслаиваться. Для чистых помещений мы рекомендуем:

• Химическое никелирование: Обеспечивает очень твердую, гладкую поверхность, которая не осыпается.

• Лечение препаратом Рейдент: Специальное криогенное покрытие, интегрированное со стальной решеткой, обеспечивает превосходную коррозионную стойкость без риска отслаивания.

4. Специальная упаковка и очистка

Чистота компонента, используемого в чистых помещениях, определяется последним прикосновением к нему.

• Ультразвуковая очистка: Перед сборкой детали подвергаются многоступенчатой ​​ультразвуковой обезжиривке в контролируемой среде.

• Двойная упаковка: Продукция TOCO для чистых помещений проходит очистку, смазку, а затем двойную вакуумную упаковку в условиях класса чистоты ISO 6. Внешний пакет снимается в «предпосылке», а внутренний пакет открывается только внутри самого чистого помещения.

5. Совет по дизайну: выбирайте большие размеры для долговечности.

В чистом помещении сложно проводить техническое обслуживание. Выбирая направляющую TOCO с большей, чем необходимо, несущей способностью, вы снижаете внутреннее напряжение на шариках, что значительно уменьшает скорость отрыва частиц от кабельных каналов.